Integration of ion sensitive membranes on CMOS technologies for water quality monitoring
Dixième colloque du LN2 — Bromont, Canada, juillet 2024
Co-intégration de capteurs ChemFET sélectifs de l'ammonium et des nitrates : membranes sensibles aux ions synthétisées puis déposées par spin-coating sur substrats Si₃N₄/SiO₂/Si, fonctionnalisées par des ionophores (matrice PVC et TDAN pour les nitrates).
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